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分子筛制氧工艺：按吸附压力不同分为PSA、VSA（另称VPSA）制氧设备两种。PSA（Pressure Swing Adsorption）即加压吸附（>0.1MPa）；VSA(Vacuum Swing Adsorption)即常压吸附（<0.1MPa）。
PSA制氧工艺：将原料空气通过螺杆压缩机增压至0.3~0.5Mpa（高压）工况下，三级除油冷干机除水后，输送至装填有此吸附剂颗粒的塔容器中，吸附去除空气中的氮气、二氧化碳和水分等；吸附剂颗粒吸附饱和后，直接通过放空降压方式，使吸附在吸附剂颗粒上的氮气、二氧化碳和水分等解吸排出，当解吸完成后，再输入原料空气，又富集出氧气。通过二塔或多塔的吸附--解吸的循环操作，从而不断富集出85~95%的氧气。
VSA制氧工艺：将原料空气通过制氧专用无油低压风机提升至~0.06MPa（微正压）工况下，输送至装填有分子筛颗粒的塔容器中，吸附去除空气中的氮气、二氧化碳和水分等，富集出氧气；当分子筛颗粒吸附饱和后，通过制氧专用排氮机对其抽负压，在负压状态下，吸附在分子筛颗粒上的氮气、二氧化碳和水分等解吸排出，当解吸完成后，再进入下一周期，吸附富集出氧气。通过二塔或多塔的吸附--解吸的循环操作，从而连续富集出90~96%的氧气。
VSA制氧设备与PSA制氧技术对比表
制氧工艺 | VSA制氧设备 | PSA制氧设备 |
空气源 | 通过低压无油专用风机输送原料空气 | 通过空气压缩机输送原料空气 |
空气源 压力 | 常压操作（＜0.1MPa） | 高压操作（＞0.1MPa） |
是否含油 | 全无油 | 有油 |
空气源处理方式 | 无油，无需做处理 | 除油、除水（须需定期更换油滤，油容易污染分子筛，使设备制氧失效） |
制氧分子筛 | 压力低，分子筛不易粉化（分子筛使用10年内无需更换或者添加） | 压力高，分子筛易粉化，分子筛一般使用3年需更换或者添加。 |
日常维保安全性 | 日常维保操作简单方便。 安全性能好（所有容器为常压容器（<0.1MPa），工艺管道为常压管道（<0.1MPa），安装时无需报建，每年无需年检等工作） | 日常维保要求较高，塔容器属特种设备（所有容器为压力容器（≥0.1MPa），工艺管道为压力管道（≥0.1MPa），安装时需报建，每年需年检等手续（必须配备压力容器安全总监和安全员，需进行法律法规、标准和专业知识培训、考核，并予以记录、存档、备查，考核合格后，方可持证上岗。）。 |
氧气产品 | 产品氧气中绝对不含油分。 | 生产过程中，如空气源的三级滤芯不及时维护保养，油分容易污染产品氧气。 |
运行电耗 | 运行电耗约0.4~0.8Nm3.O2/KW.h（使用海拔不同时，运行能耗稍有不同） | 运行电耗约1.2~3.0Nm3.O2/KW.h（使用海拔高度不同时，运行能耗有不同） |
结论
VSA制氧设备广泛地应用于高原弥散式供氧系统的现场制氧。VSA制氧经过十余年不间断运行，是一种成熟、可靠的现场制氧方式，能很好地满足高原低寒及路途远保养难（免维护）等特殊使用条件，突破了高原现场制氧的限制和难题：
使用安全：VSA制氧设备配置常压容器（非特种设备），使用安全；PSA制氧设备配置的为压力容器（特种设备）；
操作简单：VSA制氧设备可365天24小时不间断运行，一键启停操作简易方便；
低维护费： VSA制氧设备主要维护项目为更换风机皮带、添加风机齿轮油箱润滑油等，维护成本低，不及PSA制氧维护成本的十分之一；
耗电量低： VSA制氧设备运行耗电量仅为PSA制氧的三分之一；
安装简单：VSA制氧设备为撬装一体式，无需基础，方便安装；
